最先端の化合物半導体薄膜製造装置、クリーンエネルギーの太陽電池用薄膜製造装置、省電力薄型ディスプレイである液晶モジュール製造のプロセス装置など、広い意味での電子材料関連の装置開発を行っています。ユーザーとの協力のもとに、機能性・生産性の高い製造装置の開発を行い、社会に貢献していくことを目指しています。
開発製品
半導体製造装置
化合物半導体のエピタキシャル成長に対応した量産型有機金属成長（MOCVD）装置です。フィルター、各種トラップなど周辺機器も揃えて、設計・組立て・エピ成長までのご要望にお応えします。
また、ALDなどの特殊仕様の設計も承ります。
液晶パネル製造関連装置
インクジェットコーター対応のプリベーク装置などの開発・設計・製作をおこなっています。
薄膜太陽電池製造装置
ロールツーロール対応の成膜装置や、搬送機構の開発・設計・製作をおこなっています。
