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窒化アルミセラミックス

窒化アルミニウムは熱伝導率が高く電気絶縁性に優れたセラミックスです。数ミクロンのフィラーから大型の部品まで、対応が可能です。
窒化アルミニウムは熱伝導性、熱放射性、電気絶縁性などに優れており、これらの特性を活かして、半導体製造装置用部品に使用されているほか、基板やフィラーにも使用され用途が拡大しています。

基板

基板

放熱性が高く、高電気絶縁性であり、シリコンにマッチした熱膨張係数を有しています。熱衝撃に強く、急熱・急冷に耐えることができます。

半導体装置用部品

半導体装置用部品

半導体製造装置を構成する部品として窒化アルミニウムは耐熱衝撃性、耐プラズマ性、高電気絶縁性で、シリコンウェーハにマッチした熱膨張をもつ、特性のバランスの良い材料です。

窒化アルミニウムフィラー

AlNフィラー

高熱伝導率をもつ窒化アルミニウム微粉末を高温焼結して得られた窒化アルミニウムフィラーは、各種樹脂に対して充填性、流動性、耐水性に優れ、高放熱性を実現します。

熱伝導シート

半導体装置用部品

フィラーと樹脂を複合化させ、高熱伝導・高耐熱・絶縁性・柔軟性を兼ね備えた熱伝導シートを開発しました。今後、幅広い分野での使用が期待されます。

古河機械金属グループ